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1.使用高介電常數(shù)的材料制造電極，提高加工精度。2.改善冷卻條件，采用水冷或雙極冷卻。3.提高氣源潔凈度。4.提高臭氧電源的驅(qū)動(dòng)頻率，降低電耗。
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